@InProceedings{AlvesAmNeTrCoMo:2004:CrFiDi,
               author = "Alves, A. R. and Amorim, A. and Neto, J. Eichenberg and 
                         Trava-Airoldi, Vladimir Jesus and Corat, Evaldo Jose and Moro, J. 
                         R.",
                title = "Crescimento de filmes de diamante cvd em v{\'a}rias etapas",
            booktitle = "Anais...",
                 year = "2004",
         organization = "48º Congresso Brasileiro de Cer{\^a}mica",
             keywords = "diamante CVD, crescimento, filmes, v{\'a}rias etapas, grandes 
                         {\'a}reas.",
             abstract = "Os progressos no crescimento de diamante CVD t{\^e}m levado os 
                         pesquisadores a deposit{\'a}-lo em {\'a}reas cada vez maiores, 
                         por{\'e}m a espessura do diamante {\'e} limitada {\`a} 
                         espessura do substrato, levando-os a fragmenta{\c{c}}{\~a}o. As 
                         pesquisas apontam que essa fragmenta{\c{c}}{\~a}o se deve ao 
                         {"}stress{"} intr{\'{\i}}nseco e extr{\'{\i}}nseco. O primeiro 
                         causado por defeitos e o segundo por gradientes t{\'e}rmicos. 
                         Objetivando diminuir o {"}stress{"} intr{\'{\i}}nseco, foram 
                         realizados crescimentos de diamante em v{\'a}rias etapas. 
                         Inicialmente, foi crescido um filme por dez horas em um substrato 
                         de sil{\'{\i}}cio, com 76mm de di{\^a}metro e espessura 0,250 
                         mm. A seguir a amostra foi submetida a um tratamento com 
                         solu{\c{c}}{\~a}o saturada de H2SO4 e CrO3 e, e ap{\'o}s em uma 
                         solu{\c{c}}{\~a}o 1:1 de H2O2:NH4OH. As amostras foram 
                         caracterizadas por microscopia eletr{\^o}nica de varredura (MEV) 
                         e espectroscopia Raman, antes e depois do tratamento. Este 
                         processo de crescimento foi repetido at{\'e} a ruptura do 
                         substrato",
  conference-location = "Curitiba",
      conference-year = "28 de junho a 1º de julho 2004",
           copyholder = "SID/SCD",
             language = "pt",
           targetfile = "48cbc-12-35.pdf",
        urlaccessdate = "03 maio 2024"
}